De-NOx 模組套件 DNX

DNX 產品系列為鼎佳能源自主開發之 De-NOx 模組套件，專為半導體製程設備之 Local Scrubber（LSC） 應用設計，可於設備端即時有效地消除氮氧化物( NOx) ，符合半導體客戶所規定的排放標準。

DNX 採小型化模組式設計，可靈活安裝於 LSC 箱體內，產品符合相關安全與防爆規範。

DNX 安裝示意圖: